10.3 干燥压缩空气系统

10.3.1 洁净厂房内的干燥压缩空气系统应根据各类产品生产工艺要求、供气量和供气品质等因素确定，并应符合下列规定：

1 供气规模应按产品生产所需供气量和计入必要损耗量确定，并应设有一定的备用供气量；

2 供气品质应根据生产工艺对含水量、含油量、微粒粒径及其浓度等要求确定；

3 供气系统可集中设置在洁净厂房内的供气站或洁净厂房外的综合动力站；

4 应选用能耗少、噪声低的设备，宜选用无油润滑空气压缩机；

5 含水量要求严格时，宜选用加热再生吸附干燥装置。

10.3.2 干燥压缩空气管道内输送露点低于-76℃时，应采用内壁电抛光低碳不锈钢管或内壁电抛光不锈钢管；露点低于-40℃时，宜采用不锈钢管或热镀锌无缝钢管。阀门宜采用波纹管阀或球阀。

10.3.3 管道连接应符合下列规定：

1 宜采用焊接，不锈钢管应采用氩弧焊；

2 含水量露点严于-40℃时，用于管道连接的密封材料宜采用金属垫或聚四氟乙烯垫；

3 当采用软管连接时，宜采用金属软管。

条文说明

10.3.1 干燥压缩空气系统是电子工厂中的一种重要动力源，它用于许多电子产品生产工艺设备气动设备或仪器仪表的动力气源，一旦供气量不足或供气品质下降，都将影响产品生产过程的正常进行，严重时还将停产，故本条对电子工业洁净厂房中的干燥压缩空气系统作了相关的规定。

1 应按生产工艺、公用动力系统对于燥压缩空气品质、消耗量确定设计规模。为确保生产工艺供气的安全、可靠、稳定性要求，应留有合理的富余量。当产品生产过程要求不能中断供气或中断供气将会引起安全事故时，应设置一定的备用供气装置等。

2 电子产品生产过程对干燥压缩空气的含水量(或露点)、含油量、微粒粒径及其浓度的要求较为严格，表24是一些电子产品生产工艺对干燥压缩空气品质的主要要求。

3 电子工厂所需干燥压缩空气大多要求严格控制含油量或无油；即使少数产品因生产工艺对干燥压缩空气无含油量要求，但为了确保干燥装置的安全可靠运行，应采用无油润滑空气压缩机或采取多级过滤器除油，所以本条推荐“宜选用无油润滑空气压缩机”。

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