15.2 容许振动值

15.2.1 微振动控制设计应根据精密仪器、设备的特性，采取综合隔振措施，并应满足容许振动值的要求。

15.2.2 精密设备、仪器的容许振动值物理量的表述，应采用时间域或频率域的振动加速度、振动速度和振动位移等。

15.2.3 精密仪器、设备的容许振动值，应由制造商提供。无法确定时，可按本规范附录C或根据其工作特性确定。

条文说明

精密设备、仪器是微振控制设计的主要对象。当作用于精密设备、仪器的微振动超过一定的界限时，此类设备、仪器就无法进行正常的工作，不能按要求生产合格的产品或中间产品，这一界限就是微振动控制值或容许振动值。容许振动值是指保证精密仪器、设备正常工作条件下，其支撑结构面的容许振动幅值。电子工业洁净厂房内的精密设备、仪器种类很多，它们都有各自的特性或所生产电子产品的不同精度有其特定的容许振动值，如集成电路生产的光刻机、图像发生器，光导纤维生产的光纤拉制机，TFT—LCD生产的电子速曝光机、光刻机等。

精密设备、仪器的容许振动值的物理量表达有多种，目前在微振控制设计时常用的有：振幅或容许振动位移量(μm)、振动速度(量纲为mm/s)、振动加速度(量纲为mm/s²)。精密设备、仪器根据本身的使用特点采用不同的物理量进行微振控制设计。

精密设备、仪器的容许振动值一般是通过试验确定或在实际生产运行中的经验总结或实测数据，这些值与设备、仪器的特性和产品工艺要求关系密切，目前微振控制设计时的容许振动值一般由生产工艺提供方或设备制造厂家按其用途提供这些数据。本规范附录C列出一些精密设备、仪器的容许振动值供参考。

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