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12.2 照明
12.2.1 洁净室(区)的主要生产用房间一般照明的照度值宜为300~500lx;辅助工作室、人员净化和物料净化用室、气闸室、走廊等的照度值宜为200~300lx。
12.2.2 对照度有特殊要求的电子产品生产部位应设置局部照明,其照度值应根据生产操作的要求确定。
12.2.3 洁净厂房备用照明的设置应符合下列规定:
1 洁净室(区)内应设备用照明;
2 备用照明宜作为正常照明的一部分,且不应低于该场所一般照明照度值的20%;
3 备用照明的电源宜由变电所专线供电。
12.2.4 洁净厂房内应设置供人员疏散用的应急照明,其照度不应低于5.0lx。在安全出入口、疏散通道或疏散通道转角处应设置疏散标志。在专用消防口应设置红色应急照明指示灯。
12.2.5 洁净室(区)内照明光源,宜采用高效荧光灯。对有感光度要求的生产场所,宜采用黄色光源。
12.2.6 洁净室(区)内一般照明灯具的选择与布置,应符合下列规定:
1 洁净室(区)内宜采用吸顶明装、不易积尘、便于清洁的洁净灯具;
2 空气洁净度等级严于或等于5级的洁净室(区),宜采用泪珠型灯具;
3 当采用嵌入式灯具时,其安装缝隙应采取密封措施;
4 洁净室(区)内灯具的布置,不应影响气流流型,并应与送风口协调布置。
条文说明
12.2.1 根据现行国家标准《建筑照明设计标准》GB 50034-2004中的规定,照度值均为作业面或参考平面上的维持平均照度值。该标准第5章中规定了各类建筑的照明标准值,现将其中有关电子工业的部分摘录于表27中。
据调查,近年来设计、建造的一些大规模集成电路芯片制造工厂、TFT-LCD制造工厂洁净室(区)的照度值大部分为500lx,也有的采用300lx;更衣室、支持区和化学品储存分配间等,大部分为300~500lx,也有的采用150~200lx。根据上述情况,制定了本条规定。
12.2.2 据调查,局部照明的设置和照度值的选择均与产品生产操作要求相关,实际采用局部照明的照度值一般为500~2000lx,个别也有超过2000lx的。为此,本条规定局部照明的照度值应根据生产操作的要求确定。
12.2.3 洁净室(区)内的电子产品生产一般为连续性生产,对照明的连续性、可靠性均有较严格的要求。设置备用照明的目的是为了正常照明因故熄灭时,确保工作人员能够继续从事必要的生产活动或采取应对措施所必须的照度。为减少灯具的重复设置,节省投资,备用照明一般都是作为正常照明的一部分,以不低于该场所一般照明照度值的20%为宜。
12.2.4 由于洁净厂房的密闭性和基本采用人工照明的特点,所以目前已建的洁净厂房内均设有供人员疏散用的应急照明。设置应急照明的部位包括洁净室(区)、技术夹层和疏散通道等。
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- 11.1 一般规定
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- 12.1 配电
- 12.2 照明
- 12.3 通信与安全保护装置
- 12.4 自动控制
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- 14 噪声控制
- 14.1 一般规定
- 14.2 噪声控制设计
- 15 微振控制
- 15.1 一般规定
- 15.2 容许振动值
- 15.3 微振动控制设计
- 附录A 各类电子产品生产对空气洁净度等级的要求
- 附录B 电子产品生产间/工序的火灾危险性分类举例
- 附录C 精密仪器、设备的容许振动值举例
- 附录D 洁净室(区)性能测试和认证
- D.1 通则
- D.2 洁净室(区)性能测试要求
- D.3 洁净室测试方法
- D.4 认证
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- 本规范用词说明
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