13.3 防静电接地

13.3.1 洁净厂房内金属物体包括洁净室(区)的墙面、门窗、吊顶的金属骨架，应与接地系统做可靠连接，导静电地面、活动地板、工作台面、座椅等应做静电接地。

13.3.2 静电接地的连接线应有足够的机械强度和化学稳定性，其主干线截面不应小于95m㎡，支线最小截面应为2.5m㎡。

13.3.3 与人体接触的静电接地应串接限流电阻，限流电阻的阻值宜为1MΩ。

13.3.4 对电子产品生产过程中产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉体管道，应采取防静电接地措施，其中有爆炸和火灾危险的设备、管道应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 50058的有关规定。

条文说明

13.3.1 导静电泄放至大地是消除静电的一种主要方法。为了保证静电迅速、安全、有效地泄放，洁净区域金属物体、导静电材料均应做可靠接地。
13.3.4 在电子工业洁净厂房中，有多种可燃、有毒的气体、液体或粉体输送、储存设备、管道，这些介质的设备、管道也是容易产生静电危害的场所。所以，对这些介质的设备、管道应采取可靠的安全的导静电泄放至大地的接地措施，以保证一旦产生静电能够迅速、有效、安全地泄放。有爆炸和火灾危险的设备、管道应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB50058的有关规定。

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