8.3 排水

8.3.1 电子产品生产过程排出的生产废水因产品品种、生产工艺的不同而异，仅以半导体器件、集成电路等电子产品为例，在此类产品生产过程中排出的生产废水就有酸性废水(HF、HCl、HN0₃、H₂SO₄等)、碱性废水(NaOH、NH₄OH等)、研磨废水(硅粉粒等)、废气洗涤废水、有机废水(IPA、显影液、光阻液等)等，它们的排放浓度在生产过程的各个工序也有所不同，但在电子工厂中通常都根据排出的生产废水的品种、性质、污染物浓度等设置废水处理站或废水处理装置进行处理，并达到国家排放标准或地方排放标准后排放。据调查了解，由于上述电子工厂生产废水的排放特点，目前在工程设计和实际生产实践中均采用生产废水系统、生活废水系统分别设置的方式。因此作出本条规定，并为强制性条文。

8.3.2 本条是电子工业洁净厂房给水排水设计安全卫生和维持洁净室(区)空气洁净度等级等技术指标的重要保证，必须严格执行。

对洁净室而言，当洁净室正常工作时，水封装置的主要作用是防止洁净室内的正压风通过重力排水管向外泄漏，而洁净室内的正压风向外泄漏会引起能量损失和破坏洁净环境；当洁净室非正常工作时，它可以防止管道内的有害气体或室外气进入室内，破坏洁净环境。

    一般情况下，洁净室与室外的静压差为10Pa，考虑水封装置内水的蒸发损失、自虹吸损失及管道内气压变化等因素，水封深度应为50～100mm水柱并不小于50mm，这与《建筑给水排水设计规范》GB 50015关于水封的设置要求是一致的。

    通气系统的作用：①排除排水管道中的有害气体；②平衡管道内的压力，保护水封装置内的水封。通气管的设置位置和高度要确保不对周围环境产生影响，必要时应考虑处理措施。

8.3.3 洁净室(区)内地漏等排水设施的设置应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073—2001中第7.3.3条的规定。

8.3.4 本条是为了从各个方面采取相应措施确保洁净室的洁净度制定的。一般洁净室内的卫生器具应采用白陶瓷或不锈钢制品，不得采用水磨石或水泥等易起尘的制品。卫生器具配件应采用镀铬或工程塑料等表面光滑、易于清洗的产品。