11.3 管材、阀门

11.3.1 电子工业洁净厂房所需化学品的品质较多，包括具有可燃性、氧化性、腐蚀性的各种酸碱、有机溶剂等，为确保化学品的输送质量、安全运行和使用寿命，输送化学品的管道材质应根据管内流过化学品的物理化学性质进行选择，如酸碱类输送管道材质，通常采用聚四氟乙烯管，并以透明PVC管做保护套管，避免输送管道被腐蚀和预防酸碱液泄漏时造成人身(设备)受伤(受损)。为防止各类化学品，特别是一些高纯化学品在输送过程中被污染或因管道材质选用不当，引发不应发生的化学反应，影响化学品质量，所以输送化学品管道的材质应选用化学稳定性良好和相容性好的材料，如：输送有机溶剂类化学品管道材质，通常采用管内壁抛光的低碳不锈钢管(SUS316L EP/BA)等。本条为强制性条文。

11.3.2 据调查了解，在电子工业洁净厂房中，为防止有腐蚀性的酸碱类管道泄漏，殃及操作人员或生产设备，各类腐蚀性的酸碱类管道均采用带套管的聚四氟乙烯管(PFA管)，外套管为透明的PVC管等。

在美国消防协会颁布的NFPA 318《洁净室消防标准》中，有一条例外的说明：“易燃液体的加压输送系统容许用非金属管道输送，但必须设置于熔点高于1093℃(2000°F)的金属制造的外壳中”。

鉴于上述情况，作了本条规定。

11.3.3 对一些使用多种化学品的管道供应系统的国内电子工业洁净厂房的调查和相关的技术资料介绍表明，为确保化学品供应输送系统的安全和有利于连接多台生产设备共用一条管路系统，一般在液体化学品供应系统中设有化学品供应分配阀箱(Valve Manifold Box，简称VMB，如图9所示)。故作本规定。