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1 总则
1.0.1 为在电子工业废气处理工程设计中贯彻执行国家的有关法律、法规和规定,规范工程的设计内容和深度,提高工程的设计水平,达到保护环境、节约能源与资源、技术先进、经济合理、保证设计质量和安全的要求,制定本标准。
1.0.2 本标准适用于新建、改建、扩建的电子工业废气处理工程设计。
1.0.3 电子工业废气处理工程设计除应符合本标准外,尚应符合国家现行有关标准的规定。
1.0.1 本条规定了制定本标准的目的。电子工业废气处理工程是电子工业建设领域中一个不可缺少的组成部分,制定本标准的宗旨就是通过本标准的实施,促进电子工业建设在确保电子产品质量所需要的生产条件前提下,积极采用国内外的先进生产工艺、清洁生产技术和先进减排技术,降低电子产品生产过程对环境的污染,为建设环境友好型和资源节约型社会创造条件。
1.0.2 本条规定了本标准的适用范围。本标准适用新建、改建、扩建的电子工业废气处理工程设计。这里所指的电子工业,一般包括电子产品和材料制造工厂、研究所、实验室等。
1.0.3 本条规定了本标准与其他标准、规范、法规的衔接。根据国家主管部门有关工程建设标准编写规定,为了精简标准内容,凡引用或按其他全国通用的设计标准规定的内容,除必要之外,本标准不再另设条文。本条强调设计中除应执行本标准外,还应执行与设计内容相关的安全、环保、节能、卫生等方面的国家现行的有关标准、规范和法规的规定。
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- 前言
- 1 总则
- 2 术语
- 3 基本规定
- 4 工艺及工艺设备
- 4.1 一般规定
- 4.2 污染物控制
- 4.3 应急设施
- 5 碱性废气系统
- 5.1 一般规定
- 5.2 处理流程和方法
- 5.3 处理设备
- 5.4 风管及附件
- 6 酸性废气系统
- 6.1 一般规定
- 6.2 氮氧化物、高浓度酸及电镀废气
- 7 挥发性有机物废气系统
- 7.1 一般规定
- 7.2 废气收集、排风管道系统
- 7.3 处理系统
- 7.4 处理设备
- 7.5 自动控制及安全措施
- 8 特种废气系统
- 8.1 一般规定
- 8.2 烷类尾气处理系统
- 8.3 全氟化合物(PFC)尾气处理系统
- 8.4 其他特种尾气处理系统
- 8.5 中央废气处理系统
- 9 除尘系统
- 9.1 一般规定
- 9.2 系统设计、处理流程及方法
- 9.3 处理设备
- 9.4 风管及附件
- 10 电子玻璃窑炉废气系统
- 10.1 一般规定
- 10.2 系统设计、处理流程及方法
- 10.3 处理设备
- 10.4 风管及附件
- 11 事故通风
- 11.1 一般规定
- 11.2 系统设计及有害气体净化
- 12 电气设计
- 12.1 供配电与照明
- 12.2 防雷与接地
- 附录A 电子工业常用高毒物品的立即危害生命和健康浓度(IDLH)
- 本标准用词说明
- 引用标准名录
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