8.5 中央废气处理系统

8.5.1 特种气体经尾气处理设备就地处理后，应接入中央废气处理系统进行再处理。

8.5.2 中央废气处理系统应根据污染因子特性进行设计。

8.5.3 从尾气处理设备出口至中央废气处理设备的管路应保持负压状态。

8.5.4 当尾气处理设备产生粉尘时，系统的设置应符合下列规定：

1 废气排入大气前应进行除尘处理；

2 除尘器宜靠近尾气处理设备；

3 当尾气处理设备采用淋洗方式时，不宜采用干式除尘法；

4 尾气处理设备与除尘器之间的管路，应按除尘系统的要求进行设置。

8.5.5 当废气经过尾气处理设备处理后，其燃烧爆炸性气体的浓度超过爆炸下限的10％时，系统应按防爆系统设置。

条文说明

8.5.1 尾气处理设备处理后还含有污染物，故需要进入中央废气处理系统进一步处理。对于外延工序，由于含有氢气，其尾气处理设备处理后的气体不要接入中央废气处理系统。

8.5.3 为了避免有害物质外泄制定了本条规定。

8.5.4 本条规定了产生粉尘的尾气处理设备的系统设置要求。

2 为了避免粉尘堵塞管路系统制定了本款规定。

3 采用淋洗方式，粉尘含有水分，会堵塞干式的过滤器。

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