11.2 系统设计及有害气体净化

11.2.2 事故排风能够由经常使用的排风系统和事故排风系统共同保证。

11.2.3 计算事故状态下的最大泄漏量一般考虑最不利情况，即单位时间内在最大储存压力和最高温度下的泄漏量。

11.2.4 按照本标准11.1.8条的规定，事故排风系统排出口有害物质浓度要不高于立即危害生命和健康浓度值的50％。最经济的方法就是稀释排放，但有些有毒物质允许的立即危害生命和健康浓度值较低，当最大事故泄漏量较大时，如采用稀释排放，则所需的稀释风量巨大，明显不经济，此时采用吸附或洗涤等处理方式是较为合理的方案。

11.2.5 极毒和剧毒物质对人体危害很大，目前国家相关规范规定要采用净化处理后高空、高速排放，故不采用稀释方式排放。

11.2.6 由于砷烷和磷烷难溶解于水，采用淋洗方式几乎无效，所以一般采用吸附方式处理。而微电子厂房常用的乙硼烷能用吸附，也能用洗涤方式处理。

11.2.7 本条规定了采用稀释方式处理事故排风时系统的设计要求。

    1 采用稀释方式处理事故排风时，如果稀释排风系统中带有多个有毒有害物质储存和输配系统，此时系统的稀释风量要满足系统中任意一个储罐和相关的输配系统发生事故时所需的稀释风量，所以系统的稀释风量要取各种有毒有害物质稀释至立即危害生命和健康浓度（LDHL）所需空气量中的最大值。

    2 当采用稀释方式处理事故排风时，从有毒有害物质泄漏处进入稀释空气，是最为安全、有效的方式，使系统中绝大部分空气均处于立即危害生命和健康浓度值以下。

11.2.8 本条规定了用吸附方式处理事故排风设计时的要求。

    1 设计吸附处理系统应考虑的因素。

    2 对于固定床吸附处理设备，由于吸附材料在事故排风系统运行过程中是不能添加的，所以吸附材料的装填量要大于完全吸附系统中最大储存量的有毒有害物质全部散出时的吸附材料需求量。

    3 与上一款的理由相同。吸附设备的吸附速率不能低于完全吸附系统中最大泄漏量的有毒有害物质散出时所需的吸附速率，以保证所有泄漏的有毒有害物质被全部吸附。

    4 平时每次更换储罐的吹扫气体量并不大，但也会使吸附设备中的部分吸附材料失去吸附能力，导致事故排风时的吸附能力不够，所以更换储罐的吹扫气体需另设置吸附处理系统或接入其他的废气处理系统。另外，日常不启动时因为水分的吸收需要定期确认吸附材料的损伤状态。当有毒有害物发生泄漏，且事故排风系统启动后吸附材料也需要更换。

11.2.9 本条规定了采用淋洗方式处理事故排风设计时的要求。

    1 直立填料洗涤式废气处理设备虽然接管复杂，运行阻力稍高，但理论上具有最佳的气液质交换效果，且事故排风系统为偶尔运行，运行阻力稍高不应作为主要的考量因素，所以要优先采用。

    2 如果事故排风系统废气处理设备的循环泵平时不运行，当有毒有害物质发生泄漏而启动事故排风机时，假如事故排风点与废气处理设备间的距离较短，很有可能发生含有毒有害物质的事故排风到达处理设备时，处理设备中大部分填料还未润湿，起不到处理效果，事故排风系统排出口的有毒有害物质浓度超标，所以循环泵平时要保持低速运行，以保证填料始终处于湿润状态。

    3 当事故排风点与废气处理设备间距离足够长时，通过计算确认，启动循环泵后填料润湿的时间，短于启动事故排风机后含有毒有害物质的空气到达废气处理设备的时间，洗涤液循环泵能仅在发生事故时先于事故排风机启动，但为了防止启动循环泵时发生瞬时抽空现象，废气处理设备的储液箱容量需足够大。

    4 有些有毒有害气体淋洗处理后会形成酸雾，如HCl气体淋洗后将形成HCl雾，所以废气处理设备后需装设除雾器，以防止酸雾排入大气，影响处理效率。

    5 为保证废气处理设备能连续、稳定、高效的工作，需设置自动补液和排液系统。

11.2.10 电子工业生产过程中使用的砷烷、磷烷、乙硼烷、三氯化硼等极毒和剧毒物质一旦发生泄漏事故，对人员生命健康有很大的危险，所以其储存和输配场所需设置可靠地排风系统。