8.4 其他特种尾气处理系统

    1 设备的处理效率不应低于99％；

    2 处理后的污染因子浓度宜在PC-TWA值以下；

    3 处理后的燃烧爆炸性气体浓度应在爆炸下限值的25％以下。

8.4.2 外延设备的尾气处理设备的设置应符合下列规定：

    1 外延尾气处理系统应单独设置；

    2 应按防爆系统设置；

    3 不应就近设置在外延炉旁边和下技术夹层内；

    4 尾气处理设备应设置防护罩。

8.4.3 三氟化硼（BF₃）和三氯化硼（BCl₃）宜采用等离子和淋洗两级处理方式，三氟化氯（ClF₃）宜采用热氧化和淋洗两级处理方式，三氯硅烷（SiHCl₃）、二氯硅烷（SiH₂Cl₂）宜采用等离子式和淋洗两级处理方式。

8.4.4 从真空泵至尾气处理设备入口之间的管道，应符合下列规定：

    1 管道的材质宜采用不锈钢304或316；

    2 当尾气中含有遇低温易析出粉尘的物质时，管道应采取加热措施。

8.4.5 尾气处理设备出口之后的管道应采用防腐、导静电的材质。