3 基本规定

    对于产生有害物质的工艺生产设备采用自动化、密闭、隔离和在负压下操作的措施，可以避免直接操作，并改善工作人员的工作条件。

    对生产过程中不可避免产生的有害物质在排放前进行净化处理，以符合国家现行标准《大气污染物综合排放标准》GB 16297等有关大气污染物排放标准的要求。大气排放除执行污染物最严格的排放浓度标准外，还需要符合污染物总量控制的要求。

3.0.2 电子工程中，依废气污染物种类通常将工艺废气划分为酸性废气、碱性废气、挥发性有机物（VOCs）废气、特种废气、含尘废气、焊锡烟气、玻璃窑炉废气等，通常情况下同类废气可以合并，不相容的废气分开设置排风系统。

3.0.3 本条规定了排风系统的划分原则，是强制性条文，必须严格执行。

    1 防止不同种类和性质的有害物质混合后引起燃烧或爆炸事故。

    2 避免形成新的毒性、腐蚀性的混合物或化合物，或生成毒性、腐蚀性更大的混合物或化合物，对人体造成危害或腐蚀设备及管道，如散发氰化物的电镀槽与酸洗槽散发的气体混合时生成氢氰酸，毒害更大。

    3 为防止或减缓蒸汽在风管中凝结聚积粉尘，从而增加风管阻力甚至堵塞风管，影响通风系统的正常运行。

    4 避免极毒和剧毒物质通过排风管道及风口窜入其他房间，如将放散砷烷、磷烷、乙硼烷、铅蒸气、汞蒸气和氰化物等极毒和剧毒气体的排风与其他房间的排风设为同一系统时，当系统停止运行，极毒和剧毒气体可能通过风管窜入其他房间；极毒物质是指车间空气中有害物质的最高允许浓度小于0.1mg/m³的物质；剧毒物质是指车间空气中有害物质的最高允许浓度小于0.1mg/m³～1mg/m³的物质。

    5 避免燃烧爆炸性气体通过排风管道及风口窜入其他房间。

3.0.4 规定此条主要是考虑节能，当个别排风点的需求压力较高，且又出现在系统后三分之一管路时，势必使整个排风系统的需求压力提高，这是不合理的，最好分别设置系统。

3.0.6 本条涉及排风系统安全、稳定运行以及大气污染问题。

    1 一些电子工厂洁净厂房内使用各类品种、一定数量的燃烧爆炸性物质，通常在使用这些物质的生产设备均设有局部排风系统，为此要采取技术措施防止这些物质的排风系统对所在厂房的安全造成危害，所以本款规定为强制性条文，必须严格执行。

    2 电子工厂如芯片制造生产设备的局部排风系统中有毒有害物质主要有：酸碱类：氢氟酸（HF）、盐酸（HCl）、硫（H₂SO₄）、硝酸（HNO₃）、氨（NH₃）等；有机类：异丙醇（IPA）、三氯甲烷（CHCl₃）、六甲基二硅胺（HMDS）、丙酮等；特种气体：砷烷（AsH₃）、硅烷（SiH₄）、磷烷（PH₃）、硼烷（B₂H₆）、三氟化氮（NF₃）、六氟化钨（WF₆）、三氯氢硅（SiHCl₃）、四氟化碳（CF₄）、六氟化硫（SF₆）、一氧化二氮（N₂O）等，这些物质大部分对人类生存环境具有巨大的危害性，因此要求需根据国家和地区污染物排放标准进行净化处理。

3.0.7 本条规定了燃烧爆炸性危险物质的排风系统风量确定原则，是为了保证安全。

3.0.8 本条规定了采用防爆型废气处理系统设备的条件，为强制性条文，必须严格执行。

    直接布置在有爆炸危险场所中的废气处理系统设备，用于排除、输送或处理甲、乙类物质的废气处理系统设备以及排除、输送或处理含有燃烧或爆炸危险的粉尘、纤维物质，其含尘浓度高于或等于其爆炸下限的25％时，或含甲、乙类物质的浓度高于或等于其爆炸下限值的10％时，由于设备内或外的空气中均含有燃烧或爆炸危险性物质，遇火花即可能引起燃烧或爆炸事故，为此规定其废气处理系统的设备要采用防爆型。

3.0.9 本条规定了废气处理系统的设备、风管和配件的防静电接地要求。

    当静电积聚到一定程度时，就会产生静电放电，即产生静电火花，使可燃或爆炸危险物质有引起燃烧或爆炸的可能。因此做了如条文中的有关规定。

    法兰跨接系指风管法兰连接时，法兰间密封垫或法兰螺栓垫圈常常采用橡胶材料，故两法兰之间需用金属线跨接。

3.0.10 本条规定了排风风管布置原则，为强制性条文，必须严格执行。

    有爆炸危险的厂房、车间发生事故后，火灾容易通过排风管道蔓延扩大到建筑的其他部位，因此其排风管道严禁穿过防火墙和有爆炸危险的车间隔墙。

3.0.11 规定本条的目的是为了使排风系统中含有的有毒有害物质以及局部排风系统中排出的有较高浓度的爆炸危险性物质得以在大气中扩散稀释，以免降落到建筑物的空气动力阴影区和正压区内，污染周围空气或导致向车间内倒流。

    “建筑物的空气动力阴影区”指室外大气气流撞击在建筑物的迎风面上形成的弯曲现象及由此而导致屋顶和背风面等处由于静压减小而形成的负压区；“正压区”指建筑物迎风面上由于气流的撞击作用而使静压高于大气压力的区域。一般情况下，只有当它和风向的夹角大于30℃时，才会发生静压增大，即形成正压区。

3.0.12 本条规定了通风系统排除凝结水的措施。

    排除潮湿气体或含水蒸气的排风系统，风管内表面有时会因其温度低于露点温度而产生凝结水。为了防止系统内凝结液腐蚀或堵塞设备及风管，影响排风系统的正常运行，条文中规定水平敷设的风管要有一定的坡度并在风管的低点设置观察检修口，在风管的最低点和通风机的底部设置排除凝结液装置，对于酸、碱、挥发性有机物和特种废气系统产生的冷凝液需排至相应的废水管网中进行再处理。为了防止由于排风管路水密性不好，而发生排风管路中的冷凝液渗漏事故，所以规定排风管路系统要有防渗漏措施。

3.0.13 本条规定了填料洗涤式废气处理设备的设置原则。

    1 规定断面风速是为了保证废气与洗涤液有充分的接触时间，从而保证处理效率。

    2 填料洗涤式废气处理设备的填料厚度对处理效率起到至关重要的作用，填料厚度与断面风速、喷淋循环液流量、待处理污染因子、填料形式等有关，需根据厂家提供的公式计算或曲线查取。

    3 喷淋液循环量是保证处理效率又一重要因素，规定第1项是为了保证废气与吸收液进行充分的质交换；规定第2项是为了确保填料充分润湿，这里的填料面积指正对喷淋方向填料横断面面积，对于目前工程中常用的逆向流、交叉流填料洗涤式废气处理设备通常指填料水平断面面积。

    4 规定此款是为了保证被处理废气与吸收液有足够的接触时间，从而保证处理效率。

    6、7 这两款规定是为了防止废气处理设备发生冻结。

    8 有些工程中填料洗涤式处理设备补充水采用纯水制备系统的反渗透浓水，结果纯水制备系统的反渗透浓水中的钙离子大量结积在填料和除雾器上，造成堵塞。另外酸废气洗涤塔是以循环液的导电率来确定是否排水，所以以含盐量较高的纯水制备系统的反渗透浓水作为补水也是不适宜的。如果酸废气洗涤塔内补充再生水，再生水中残留的氨将与酸废气中氟和氯离子生成不易捕集的氟化铵和氯化铵。同样理由，再生水也不适宜作为碱废气洗涤塔的补水。所以填料洗涤式处理设备的补充水一般为自来水。

3.0.14 本条规定了压入式、吸入式、吹吸式废气处理系统的采用原则。

    当排风中含有酸性、碱性、特种等有毒有害污染因子时，如采用压入式废气处理系统，一方面排风机处于高浓度污染因子区，易被腐蚀；另一方面风机出口与废气处理设备间处于高正压，如风管系统密封不好，或软接头破损，部分未经处理的废气将会直接排入大气，污染环境。对于排风中含有挥发性有机物的废气处理系统，综合考虑处理效率、系统泄漏等因素，采用吹吸式废气处理系统，使转轮浓缩机与上游气流风机出口间处于微负压或微正压是较合理的选择。

3.0.15 规定此条主要是为了符合节能要求，处理设备的压力损失指单级填料或单级吸附材料的压力损失，且为运行压力损失，本规定不适合蓄热氧化设备。

3.0.16 本条是针对以往废气处理系统因设置旁路会经常出现排放超标和短路运行的现象提出的要求。

3.0.17 本条为强制性条文，必须严格执行。

    1 为了避免含有燃烧爆炸性、毒性物质的排气管路向沿程或路由区域泄漏，形成安全事故的发生，本款规定此类排气管路内压力要低于路由区域内的压力，即保持一定的负压值。

    在美国消防协会的NFPA318《洁净室消防标准》中的3.2.3条规定：含有危险化学品的废气应经由保持相对于建筑内正常使用区域负压的风管系统传输。但风机、洗涤塔和处理装置的下游除外。

    2、3、4 这三款规定是为了提高排风系统和废气处理系统的运行可靠性，防止因设备故障或停电等原因使燃烧爆炸性、有毒物质未及时排走或未得到有效处理而发生事故或污染环境。

3.0.18 本条是关于废气处理系统排气筒的设计要求。

    排气筒的高度不仅要符合国家及地方环境保护的相关规定，而且还要注意符合本项目环境影响报告书的相关要求，实际工程情况表明，往往后者规定的排气筒高度远大于前者的要求。

    第2～4款规定主要考虑有毒有害物质虽然经废气处理系统进行了处理，并达到了排放标准，但不等于无害，为了避免该废气未经充分扩散、稀释而降落地面被人员吸入，所以规定了最低的排气筒高度及较高的排放速度；同样的理由规定了第7款排气简要远离新风吸入口，废气处理系统总体设计时需考虑此因素。

    第5款规定是为了方便环保监测人员测试废气处理效果及废气排放情况。

3.0.19 本条是废气处理系统风管的规定。

    风管的防腐性能应与所接触的腐蚀性介质相适应，实际工程中，如废气中含有HF，当采用普通玻璃钢风管时，其骨架材料玻璃丝布就不能抵御HF的腐蚀，系统运行不久就得更换。另外，即使同为玻璃钢，但不同的树脂对各种酸性介质的抗腐蚀性能也是不一样的。

    经调研发现，近几年集成电路前工序工厂和平板显示类工厂相继发生的几次火灾，起因基本与工艺生产有关，但多数情况火势是沿着非不燃材料的排风管道扩散、蔓延，引起更大范围内发生火灾，造成巨额财产损失，且有几起火灾甚至造成部分电子产品供应中断，引发市场价格发生波动。所以规定集成电路前工序工厂和平板显示类工厂的排风管要采用不燃材料制作。

3.0.21 本条规定了风管及配件的绝热措施。

    1 户外安装的废气处理系统风管及配件，当输送的废气中含有遇冷形成凝结物堵塞或腐蚀风管的物质，如苯蒸汽、硼蒸汽等，将影响废气处理系统的正常工作。

    2 当除尘风管内表面结露时，粉尘将会沉积，并堵塞管道。

    3 高温风管如不采取绝热措施，有烫伤人体的危险。

3.0.22 洁净室（区）内的排风管，如直接采用产尘的绝热材料，一方面在施工过程中保温材料的纤维会在空气中飞扬，难以清除。另一方面有些排风系统的管道在运行过程中，难免需要增设接口或拆开检修等工作，从而对洁净空气造成污染，影响室内洁净度等级，且缩短送风末端过滤器的使用寿命。

3.0.23 规定此条主要是考虑节能。

3.0.24 排风机并联工作比较复杂，尤其是对具有峰值特性的不稳定区在多台排风机并联工作时易受到扰动而恶化其工作性能；因此设计时要慎重对待，否则不但达不到预期目的，还会无谓地增加能量消耗。为简化设计和便于运行管理，条文中规定，在排风机联合工作的情况下，要尽量选用相同型号、相同性能的排风机并联。当排风机并联安装时，要根据排风机和系统的风管特性曲线，确定联合工况下的风量和风压。另外，通风机并联工作时，设置是否合理也是至关重要的，实际工程中经常出现由于并联运行的风机台数过多或布置不当，实测结果经常达不到预期的总风量。

3.0.25 规定本条是为了防止防火阀的误动作而造成排风系统的失效，从而引发安全和生产的事故。另外，即使发生火灾时也不要将此类排风系统停止运行。因为一方面排风系统可兼作排烟功能，另一方面一旦停止运行，工艺生产设备将向车间内散发比烟气毒性更大的有害物质。为了达到上述要求，设计人员要在前期方案设计时合理规划，并与相关专业密切配合，尽量避免风管穿越防火分区墙。

3.0.26 规定本条是避免频繁更换吸附剂，并减少更换吸附剂对生产的影响，所以吸附剂填料量要满足其更换周期不短于3个月的要求。

3.0.28 废气处理系统的风机、处理设备等产生的噪声，影响主要有两个方面，一方面是影响室内环境，要尽量用风管、弯头和三通等部件以及房间的自然衰减降低或消除。当仅靠自然衰减不能满足室内噪声要求时，则需在风机吸入段的排风管路系统中设置消声装置或采取其他消声措施，如采用管式消声器等。另一方面是室外环境，当仅靠自然衰减不能满足厂界和厂区噪声要求时，则要在风机压出段的排风管路系统中设置消声装置，必要时需对风机设置隔声罩。

3.0.29 电子工业生产过程大部分为精密加工，对微振通常有较严格的要求，废气处理系统中的风机、水泵等在运行时会产生较强烈的振动，如不予以妥善处理，将会对工艺生产产生不利影响，所以需采取隔振措施。另外，对有微振要求的电子工厂，排风管道也是一个不可忽视的振动源，当排风管道布置于有微振要求的区域内或附近时，也需采取隔振措施，如采用减振支、吊架，风管下设置隔振垫等。

3.0.30 排风支干管设置风量调节阀，是便于各支干管风量的调节。排风总管设置测定孔是便于风量、风压、有害物浓度等的测试。对于系统较大、排风支干管较多的废气处理系统，每个支干管末端设置微压计，是利于系统风量和压力平衡以及二次配管的实施。

3.0.31 考虑风管的气流特性、强度、材料消耗等因素，风管截面采用圆形是最为合理的，但考虑到风管安装所占用的空间，某种情况下采用矩形风管也是一个不错的选择。而酸性、碱性和特种废气系统的排风管通常有凝结液产生，所以风管截面需为圆形，以利于凝结液的收集、排除。

3.0.32 本条是关于选择废气处理设备的要求。

    1 在工业通风系统运行过程中，由于风管和设备的漏风会导致排风口处的风量达不到设计值，甚至会导致室内有害物浓度达不到设计和卫生标准的要求。为了弥补系统漏风可能产生的不利影响，选择末端处理设备时，需根据系统的类别（低压、中压或高压系统）、风管内的工作压力、设备布置情况以及系统特点等因素，附加系统的漏风量。

    2 考虑流量分配不均匀性等因素，循环泵的流量要在系统需求流量的基础上附加10％。

    3 规定此款是为了提高废气处理系统的运行效率，保证车间内工艺设备排风口的排风量，以及废气处理系统的运行安全。

    4 规定此款是为了确保废气处理设备在工作压力下运行时，不会发生由于强度问题而变形，另外废气处理系统在运行过程中也会发生压力波动的情况，为确保系统安全运行，所以考虑了一定的安全系数。

3.0.33 本条是关于选择排风机应考虑的因素及要求。

    1、2 选择风机的基本特性要求。

    3 工艺设备一般要求排风口处满足一定的负压要求，如某些设备酸排风要求为－500Pa，排风机风压需包括此部分的压力。

    4 规定本款是考虑系统阻力计算的不精确性，系统计算工况与实际工程施工后的工况间的差异以及选用的风机性能与实际安装的风机性能间的差异等因素。

    5 当系统的设计风量和计算阻力确定以后，选择通风机时需考虑的主要问题之一是通风机的效率。在满足给定的风量和风压要求的条件下，通风机在最高效率点工作时，其轴功率最小。在具体选用中由于通风机的规格所限，不可能在任何情况下都能保证通风机在最高效率点工作，因此条文中规定通风机的设计工况效率不要低于最高效率的90％。一般认为在最高效率的90％以上范围内均属于通风机的高效率区。根据我国目前通风机的生产及供应情况，做到这一点是不难的。

3.0.34 废气处理设备的入口和出口设置采样口，以便于采样检测。

3.0.35 设置在线污染因子监测装置可以及时监测和记录系统排放情况。