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6.2 氮氧化物、高浓度酸及电镀废气


6.2.1 含氮氧化物的酸性废气处理应符合下列规定:

    1 宜采用多级喷淋处理方式;

    2 当二氧化氮(NO2)含量超出排放标准时,应采用还原处理;

    3 当一氧化氮(NO)含量超出排放标准时,应采用氧化、还原处理;

    4 综合处理效率不应低于90%;

    5 处理过程中产生的副产物排放浓度不应超过排放标准。

6.2.2 高浓度酸废气处理应符合下列规定:

    1 宜在产生高浓度酸废气的工艺设备附近设置尾气处理设备,处理后再进入中央酸废气处理系统;

    2 当不能设置尾气处理设备时,应独立设置废气处理系统,并应采取多级喷淋处理方式。

6.2.3 电镀工艺产生的废气系统设置应符合下列规定:

    1 溶液(镀)槽宜采用槽边排风罩、吹吸罩等有效的排风措施;

    2 排风管道宜采用耐腐蚀、耐温的不燃或难燃材质制作;

    3 易产生沉淀物的排风管道应设观察窗及检修口;

    4 各废气处理系统的冷凝废液应排至电镀废水处理系统。

条文说明

6.2 氮氧化物、高浓度酸及电镀废气

6.2.1 集成电路和平板显示类工厂的酸性废气中含有NO和NO2混合的NOx,除进行酸碱中和反应外,还需进行氧化、还原反应去除NOx,采用多级处理方法。

    在去除NOx过程中易产生有异味或污染性的副产物气体,需要采取措施去除新污染源。

6.2.2 酸液喷淋清洗型设备、加热的酸清洗槽的排气为高浓度酸废气,普通酸处理设备处理效率低,无法满足处理要求,需进行特殊处理。

    在产生高浓度酸废气的工艺设备附近设置POU,采用喷淋碱液的方法,就地去除高浓度酸废气。

    高浓度酸废气排入末端集中酸废气处理系统,洗涤塔要根据有害物浓度计算确定填料和喷淋级数,采用多级处理方式。

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电子工业废气处理工程设计标准 GB51401-2019
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