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6.2 氮氧化物、高浓度酸及电镀废气
6.2.1 含氮氧化物的酸性废气处理应符合下列规定:
1 宜采用多级喷淋处理方式;
2 当二氧化氮(NO2)含量超出排放标准时,应采用还原处理;
3 当一氧化氮(NO)含量超出排放标准时,应采用氧化、还原处理;
4 综合处理效率不应低于90%;
5 处理过程中产生的副产物排放浓度不应超过排放标准。
6.2.2 高浓度酸废气处理应符合下列规定:
1 宜在产生高浓度酸废气的工艺设备附近设置尾气处理设备,处理后再进入中央酸废气处理系统;
2 当不能设置尾气处理设备时,应独立设置废气处理系统,并应采取多级喷淋处理方式。
6.2.3 电镀工艺产生的废气系统设置应符合下列规定:
1 溶液(镀)槽宜采用槽边排风罩、吹吸罩等有效的排风措施;
2 排风管道宜采用耐腐蚀、耐温的不燃或难燃材质制作;
3 易产生沉淀物的排风管道应设观察窗及检修口;
4 各废气处理系统的冷凝废液应排至电镀废水处理系统。
6.2 氮氧化物、高浓度酸及电镀废气
6.2.1 集成电路和平板显示类工厂的酸性废气中含有NO和NO2混合的NOx,除进行酸碱中和反应外,还需进行氧化、还原反应去除NOx,采用多级处理方法。
在去除NOx过程中易产生有异味或污染性的副产物气体,需要采取措施去除新污染源。
6.2.2 酸液喷淋清洗型设备、加热的酸清洗槽的排气为高浓度酸废气,普通酸处理设备处理效率低,无法满足处理要求,需进行特殊处理。
1 在产生高浓度酸废气的工艺设备附近设置POU,采用喷淋碱液的方法,就地去除高浓度酸废气。
2 高浓度酸废气排入末端集中酸废气处理系统,洗涤塔要根据有害物浓度计算确定填料和喷淋级数,采用多级处理方式。
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- 1 总则
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- 3 基本规定
- 4 工艺及工艺设备
- 4.1 一般规定
- 4.2 污染物控制
- 4.3 应急设施
- 5 碱性废气系统
- 5.1 一般规定
- 5.2 处理流程和方法
- 5.3 处理设备
- 5.4 风管及附件
- 6 酸性废气系统
- 6.1 一般规定
- 6.2 氮氧化物、高浓度酸及电镀废气
- 7 挥发性有机物废气系统
- 7.1 一般规定
- 7.2 废气收集、排风管道系统
- 7.3 处理系统
- 7.4 处理设备
- 7.5 自动控制及安全措施
- 8 特种废气系统
- 8.1 一般规定
- 8.2 烷类尾气处理系统
- 8.3 全氟化合物(PFC)尾气处理系统
- 8.4 其他特种尾气处理系统
- 8.5 中央废气处理系统
- 9 除尘系统
- 9.1 一般规定
- 9.2 系统设计、处理流程及方法
- 9.3 处理设备
- 9.4 风管及附件
- 10 电子玻璃窑炉废气系统
- 10.1 一般规定
- 10.2 系统设计、处理流程及方法
- 10.3 处理设备
- 10.4 风管及附件
- 11 事故通风
- 11.1 一般规定
- 11.2 系统设计及有害气体净化
- 12 电气设计
- 12.1 供配电与照明
- 12.2 防雷与接地
- 附录A 电子工业常用高毒物品的立即危害生命和健康浓度(IDLH)
- 本标准用词说明
- 引用标准名录
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