8.1 一般规定

    1 特种废气的尾气处理设备包括干法吸附式、热氧化式、淋洗式、等离子式等。

    3 尾气处理设备的入口、设备腔体内、管路以及等离子头等需要定期清理，短则2个月～3个月，长则3个月～6个月。为了确保稳定生产，特种尾气设备一般考虑备用。

8.1.2 本条规定了管道连接的要求。

    1 不同工艺设备及同一工艺设备的不同腔体使用相容气体时，一般采用图4、图7接法；工艺设备不同腔体使用不相容气体时，要采用图5接法，不要采用图4、图7接法。

    2 工艺设备的排出口与尾气处理设备的进入口，要一一对应图4、图5接法；图6合并使用的接法，在接头处易造成堵塞，故一般不采用。

8.1.3 为了减少系统的阻力以及避免冷凝液和颗粒物的积聚，要减少管路中的弯头和变径。当处理气体有含有自燃气体（如硅烷）、可燃气体时，为了避免其余渗入的氧气混合引起燃烧或爆炸，要减少管路上的接头。

8.1.5 在尾气处理设备的出口设置取样口以便于检测。

8.1.7 从安全角度考虑，制定了本条规定。

8.1.8 采用淋洗式尾气处理设备时，由于其排出的气体中含有水蒸气，故制定了本条规定。