4.3 应急设施

    固定式安全保护系统指该系统就地设置在工艺设备上，不可移动，供其他设备使用。

    工艺设备包括工艺设备主体和附属部件，如气体储气柜、分配箱、封闭箱体、密闭反应腔室等。

4.3.2 有毒有害物质的化学品和特气分配供应系统应该有泄漏和排风压力下限报警连锁和切断特种气体、化学品供应的功能。当排风风压降低至预先的设定值时，发出警报信号，并且将工艺设备置于安全待机状态，同时切断特种气体、化学品的供应。

4.3.3 化学品和特殊气体在意外泄漏情况下，首先要避免化学品和特殊气体向环境扩散，以保证附近操作人员的人身安全；其次要切断设备运行，以保证设备自身的安全性；最后考虑加工产品的产品质量。

    工艺设备一般配置如下接口，以便接受报警信号：

    （1）预留接口联通至本地气体泄漏侦测报警装置，接受外部异常报警信号；

    （2）预留接口联通至本地废气处理装置，接受该装置的异常报警信号；

    （3）预留接口联通至本机废气排出装置（如干泵），接受该装置的异常报警信号；

    （4）预留接口联通至本机附属的其他需排风的装置（如工艺气体柜、密闭主机台外罩等），接受该部分的异常报警信号；

    （5）在操作位置附近安装紧急制动开关，确保工艺设备的紧急切断；

    （6）在侦测到以上外部报警信号时，需启动本机安全互锁，切断本机工艺气体输送，发出代表本机异常声光报警信号，并向生产控制计算机系统发送指定的警报代码。