5.1 一般规定

5.1.2 填料洗涤式碱性废气处理系统要求连续、稳定工作，对排风量波动、污染物组成、浓度的变化能迅速调节，为确保污染物达标排放，对系统的基本组成做了规定。

5.1.3 集成电路工厂、平板显示器工厂等大型电子工厂的工艺生产是连续性的，对排风要求是连续和稳定的，碱性废气系统需要定期检修和维护，以及保障某台处理设备和排风机发生故障时，系统仍能够满足工艺设备排风需求，碱性废气系统处理设备和排风机要设置备用。对于非连续性生产的小型电子工厂，工艺生产是非连续性的，或者碱性排风系统发生故障时，工艺生产短期停止运行造成损失不大的情形，一般不设置备用处理设备，排风机初期投资小，也需要定期检修。因此，要根据工艺生产实际需求，确定是否设置备用处理设备。

5.1.4 电子工业洁净厂房密闭性强，当排风系统停止运行时无法依靠自然通风稀释污染物，将会造成工艺设备和排风管道内污染物外溢至洁净室内，危害室内人员安全。碱性废气系统处理设备和排风机按一级负荷供电的目的是提高电源可靠性，保障碱性排风系统正常运行，保证室内人员安全和保护环境。

5.1.5 由于管道施工原因，碱排风管道内的碱液容易发生泄漏，腐蚀洁净室吊顶及FFU，严重的会影响洁净室内工艺生产。因此，建议排风管道布置在下夹层内。