8.2 大宗气体供应

    1  大宗气体的供气方式应根据气体用量、气体品质和当地的供气状况等因素，经技术经济比较后确定；

    2  氢气、氧气管道的终端或最高点应设置放散管，放散管应引至室外并高出建筑的屋脊1m，氢气放散管道上应设置阻火器；

    3  洁净室内的氢气管道应明敷，穿过洁净室的墙壁或楼板处的管段应设置套管，套管内的管道不应有焊缝，套管与管道之间应采取密封措施；

    4  氢气管道不得穿过不使用氢气的房间；当必须穿过时应设套管或使用双层管。

8.2.2  高纯气体管道设计应符合下列规定：

    1  管径应按气体容许流量、压力或生产工艺设备确定，管外径不宜小于6mm；

    2  管道布置不应出现不易吹除的“盲管”等死空间；

    3  管道系统应设置吹扫口和取样口。

8.2.3  设有氢气等可燃气体装置的气体纯化间或气体入口室的火灾危险性应按甲类确定，并应符合下列规定：

    1  应靠外墙设置，并应设置防爆泄压设施；

    2  氢气等可燃气体引入管道上应设置自动切断阀；

    3  应具有机械通风装置，并应设置事故排风装置；

    4  应设置气体泄漏报警装置，并应与事故排风装置联锁。

8.2.4  大宗气体管道和阀门应根据生产工艺要求选择，并应符合下列规定：

    1  气体纯度大于或等于99.9999％时，宜采用内壁电抛光的奥氏体超低碳不锈钢管，阀门应采用隔膜阀、波纹管阀；

    2  气体纯度大于或等于99.999％、露点低于-76℃时，宜采用内壁电抛光的奥氏体超低碳不锈钢管或内壁电抛光的低碳奥氏体不锈钢管，阀门宜采用隔膜阀或波纹管阀；

    3  气体纯度大于或等于99.99％、露点低于-60℃时，宜采用内壁抛光的奥氏体不锈钢管，除可燃气体管道宜采用波纹管阀外，其余气体管道可采用球阀；

    4  气体管道阀门、附件的材质宜与相连接的管道材质一致。

8.2.5  气体管道连接应符合下列规定：

    1  管道连接应采用焊接，不锈钢管宜采用自动氩弧焊或等离子熔透对接焊；

    2  管道与设备或阀门的连接，宜采用表面密封的接头或双卡套，接头或双卡套的密封材料宜采用金属垫或聚四氟乙烯垫；

    3  管道与设备的连接应符合设备连接的要求，当采用软管连接时，应采用金属软管。