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11.3 自控
11.3.1 发光二极管厂房环境和公用动力设备监控系统宜采用集散或分布式网络结构,系统应易于扩展和维护,并应具备显示、记录、控制、报警、分析和提示功能。
11.3.2 洁净区与非洁净区之间应设置压差变送器,洁净区与非洁净区之间的压差宜为5Pa。当洁净区净化空调选用变频风机时,设备监控系统应根据洁净区与非洁净区之间的压差设定值调节风机转速。
11.3.3 空调系统的电加热器应设有无风、超温断电保护;当采用电加湿器时,应设有无水保护。
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- 11.4 通信
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- 12.1 一般规定
- 12.2 防静电措施
- 12.3 防静电接地
- 13 空间管理
- 13.1 一般规定
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- 附录C 发光二极管生产的典型工艺流程
- C.1 整体流程
- C.2 分步流程
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- 引用标准名录
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