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10.3 纯水
10.3.1 纯水系统的设计应符合现行国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472的有关规定，并应符合下列规定：
1 纯水系统的水质应根据生产工艺的要求确定；
2 纯水系统供水管网的循环回流水量不宜小于设计供水量的20％；
3 纯水制备系统及供水管网的回收率应根据项目实际情况确定；
4 纯水供给管路系统的布置应确保用水点的水质。
10.3.2 纯水制备区域的排水管道应确保制水设备瞬时排水能得到及时排除。
条文说明
10.3.2 纯水系统的砂过滤器、活性炭过滤器等设备的反洗排水，离子交换柱的再生排水，往往水量较大，排水时间短，站房排水管道的排水能力，应确保这些设备的排水能得到及时排除，避免纯水站房地面积水。
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