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9.1 一般规定
9.1.1 洁净室的空气洁净度等级以及洁净室形式应根据生产工艺对生产环境的要求确定。
9.1.2 洁净室的气流组织应根据洁净度等级、生产工艺要求以及技术经济比较确定。
9.1.3 当出现下列情况之一时,空气净化调节系统宜分开设置:
1 生产工艺中散发的物质对其他工序的产品质量及人员安全卫生有影响;
2 温湿度基数和允许波动范围差别大的洁净室;
3 净化空调系统和一般空调系统;
4 洁净室内工艺设备发热、散湿量相差悬殊的洁净室;
5 系统风量过大的净化空调系统。
9.1.4 洁净室内的新风量应取下列两项中的最大值:
1 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和;
2 保证供给洁净室内每人每小时的新风量不小于40m3。
9.1.5 洁净室与周围的空间应保持静压差,静压差应符合下列规定:
1 不同等级的洁净室之间的静压差不宜小于5Pa;
2 洁净室与非洁净室之间的静压差不应小于5Pa;
3 洁净室与室外的静压差应大于10Pa。
9.1.5 洁净室与周围的环境必须保持一定的静压差,这是为了确保洁净室的正常工作状态或空气平衡暂时受到破坏时,空气流只能从空气洁净度等级高的房间流向空气洁净度等级低的房间,使洁净室内的空气洁净度不会受到污染空气的干扰。
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- 附录B 发光二极管生产工艺动力品质要求
- 附录C 发光二极管生产的典型工艺流程
- C.1 整体流程
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