5.4 三氯氢硅氢还原

5.4.1 太阳能级多晶硅还原电耗应符合国家有关光伏制造行业规范条件的要求。

5.4.2 还原炉供料系统应接近或紧靠还原车间布置。

5.4.3 还原炉室应根据炉型的大小设置吊装行车，并宜配备专有的拆卸硅棒工具。

5.4.4 热能回收利用装置应根据生产工艺系统的特性，回收还原炉内硅棒的辐射热量。

5.4.5 生产太阳能级多晶硅的还原炉室应采用不低于三级过滤的洁净新风，生产半导体级多晶硅的还原炉室洁净度应大于8级。

5.4.6 主工艺物料系统和还原炉夹套冷却系统应设安全阀等安全设施。

条文说明

5.4.1 《光伏制造行业规范条件》(工信部2013年第47号)规定：新建和改、扩建项目还原电耗小于60kW·h/kg。还原电耗是多晶硅生产的主要能源消耗，本条规定的目的是节约资源能源。

5.4.2 供料系统是指将三氯氢硅液体汽化后和氢气混合以气态的形式送入还原炉内；若输送管线过长，容易出现气体液化现象，影响产品质量和安全；因此还原炉供料系统应靠近或紧靠还原车间。

5.4.5 本条中生产太阳能级多晶硅的还原炉室至少采用三级过滤的洁净新风，主要是防止新风内的粉尘对硅料造成二次污染。

5.4.6 如果遇到突发事故导致冷却介质(主要是指高温水)不流动或还原炉局部过热，冷却介质汽化超压将发生安全事故，因此需在顶部夹套处设置排气口和安全阀，保护还原炉及其夹套，保证还原炉安全运行，同时安全阀的泄放口要引至安全处，避免泄放伤人。

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