9.3 废水处理

9.3.2  多晶硅工厂产生的生产废水主要为尾气淋洗废液，废液处理设施尽量与尾气淋洗设施就近设置，同时考虑处理用药剂及产生污泥的运输。

9.3.4  本条是强制性条文。硅料清洗产生的含氟废酸氟含量偏高，腐蚀性强，在处理时应采取措施防止液体泄漏及氢氟酸挥发至大气中，造成污染，故应单独处理。同时单独处理含氟废酸，可减少处理药剂用量，保证整个工厂处理排水最终达标排放。此部分废液可先单独预处理后再与其他生产废水混合处理。

9.3.5  废水调节池、尾气淋洗水解池等泄漏时，会对地下水造成污染，宜在地下水下游设置1处检测点，监测地下水酸碱度(pH值)，氯、氟及溶解盐等污染物的含量。