9.4 循环冷却水系统

9.4.1 多晶硅工厂设备冷却水系统的设计应符合现行国家标准《工业循环水冷却设计规范》GB/T 50102和《工业循环冷却水处理设计规范》GB 50050的有关规定。

9.4.2 循环水系统应根据水温、水压、水质及设备运行要求设置，分设不同循环水系统。

9.4.3 硅芯拉制炉、单晶炉和还原炉电极的循环水系统必须采取相应的保安措施。

9.4.4 循环水系统应根据水质情况，合理设置水质稳定处理装置，稳定循环水水质，减少系统排污量。

条文说明

9.4.2 部分设备对冷却水的温度、压力、水质的要求比较严格，一旦超出其设定的参数，就自动报警停机，严重影响正常生产。所以冷却水系统应根据工艺设备的具体要求单独设置，避免相互干扰。

9.4.3 本条是强制性条文。硅芯拉制炉、还原炉和单晶炉在循环水供电系统出现事故时，设备内产生的热量无法被循环水带走，将会导致设备损坏，设备内物料泄漏。为防止上述事故发生，在循环水系统中增设保安水箱及柴油水泵(或柴油电源)，当水泵供电系统事故时，由柴油泵(或柴油电源)向设备供水，以保证循环水供给不中断。

9.4.4 针对开式循环水系统，应设旁滤系统及缓蚀阻垢药剂投加系统；针对闭式循环水系统，从国内工厂现场运行情况看，仅在系统中增加管道过滤器即能满足运行要求。

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