7.5 纯水制备

7.5.2  纯水站位置应满足工艺总体布局的要求，并应就近用水设备布置。

7.5.3  纯水水质指标不应低于表7.5.3的规定。

表7.5.3  纯水水质指标

    注：表中第11项～第34项采用电感耦合等离子体质谱(ICP/MS)检测。

7.5.4  纯水储存和分配应符合下列规定：

    1  纯水储存罐体和输送管道材料应满足生产工艺的水质要求，宜选择洁净聚氯乙烯管(Clean-PVC)、聚偏二氟乙烯管(PVDF)等管材，管道附件与阀门等应采用与管道相同的材质。

    2  纯水输送管道系统应采用循环方式。设计和安装时，不应出现使水滞留和不易清洁的部位。循环干管的流速宜大于1.5m/s，不循环的支管长度不应大于管径的6倍。

    3  纯水储罐和输送系统应设置清洗系统。

7.5.5  纯水制备、储存和分配应符合现行国家标准《电子工业纯水系统设计规范》GB 50685的有关规定。