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6.6 气体供给装置


6.6.1  瓶装气体供给装置应安装在使用洁净室之外的房间,两室之间穿墙的管道应加套管,并应在管道与套管间隙填满不燃材料并加密封。

6.6.2  装置出口管道上的安全阀在安装前应进行阀门开启检查。开启压力、密封压力和回座压力应符合安全阀性能要求。

6.6.3  集中式真空吸引装置应安装在远离洁净室的建筑物外,安装时应采取有效隔声防振措施,与其连接的弯管半径不应小于5倍管外径,过滤清除设施应安在排气口。

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洁净室施工及验收规范 GB50591-2010
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