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H.1 分子态污染物(amc)


H.1.1  分子态污染物主要包括以下四种:

1  酸性气体(表示为A):NOx、SOx、HF、HCl、H2SO4等。

2  碱性气体(表示为B):NH3

3  凝聚性有机物(表示为C):在常温常压下容易凝结在物体表面的有机物,包括碳氮化合物、硅氧化物、氟高分子有机物等。

4  金属掺杂物(表示为D):Fe、Na、K、Ca、Zn、Al、Br等。

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洁净室施工及验收规范 GB50591-2010
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