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附录E 洁净室综合性能检验方法


E.1 风量和风速的检测
E.2 静压差的检测
E.3 单向流洁净室截面风速不均匀度的检测
E.4 微粒计数浓度的检测
E.5 温湿度的检测
E.6 噪声的检测
E.7 照度的检测
E.8 悬浮微生物的检测
E.9 表面导静电性能的检测
E.10 微振的检测
E.11 自净时间的检测
E.12 气流的检测
E.13 甲醛浓度检测
E.14 氨浓度检测
E.15 臭氧浓度检测
E.16 二氧化碳浓度检测
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洁净室施工及验收规范 GB50591-2010
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