11.5 工艺设备安装

11.5.1  工艺设备的安装不应影响洁净室参数和服务功能。

11.5.2  工艺设备安装时，现场的净化空调系统应已连续运行24h以上；现场除正常照明外，应配备三相380V、单相220V和低压行灯电源。

11.5.3  任何用于大设备的提升、牵引或定位的专用设备在进入洁净室安装现场前，应彻底清洁，并应检查有无脱屑、剥落的表面或不宜进入洁净环境的材料。

11.5.4  设备安装时应妥善保护墙壁与地面，设备的软胶轮应予包裹，避免在地面拖磨。开洞作业不应划伤或污染所在表面。设备安装位置穿越不同洁净级别区域时，穿越处缝隙应用柔性材料填充、密封，并应装饰处理。

11.5.5  设备安装时宜在设备周围设临时隔离墙，设备周围应留出足够的安装空间。隔离区内应阻断正压送风。进入隔离区的人员应按进入洁净区要求。

11.5.6  除设计有明确要求外，设备的安装宜不作永久性固定，不采用地脚螺栓方式。宜安装成可移动性的半固定式。

11.5.7  无脚轮的设备安装就位时，应有承重部位地面的保护措施。

11.5.8  设备离墙距离应能满足维修和清扫要求。当靠墙安装时，与墙间的缝隙应密封。

11.5.9  设备底面应抬离地面80mm～150mm，不能抬高这一距离时，应落地安装，与地面间的缝隙应密封。

11.5.10  水池、水槽等用水设备与围护结构接触的边沿部位的缝隙应密封。

11.5.11  设备配管配线所用各种管线原料和垫料、填料等辅料应对产品和环境无不良影响。应避免在洁净环境中进行材料加工，当不可避免时，应采取防止粉尘扩散措施。

11.5.12  当设备较高无法擦拭到顶部时，应采取可以清扫的措施。

11.5.13  应在设备找正、调平后进行设备二次配管、配线。