12.4 化学品供应设施安装

12.4.2  化学品供应设施安装前，应按设计文件和产品说明书的要求检查设备、容器、阀门和附件的完整性和密封性等，并应做检查记录。

12.4.3  化学品供应设施中的各类泵的安装施工，应符合现行国家标准《风机、压缩机、泵安装工程施工及验收规范》GB 50275的有关规定。

12.4.4  洁净室(区)内化学品输送管道系统的阀门箱的安装应符合下列规定：

    1  应检查箱体及箱内阀门、仪表和附件的完整性、密封性和合格证书，并应做好检查记录；

    2  就位安装应按工程设计文件、产品说明书要求进行，并应检查接管、接线方位的正确性；

    3  各种管道的连接应在所在系统吹扫或清洗合格后进行。

    检查数量：各阀门箱全数检查。

    检验方法：观察检查。

12.4.5  化学品供应设施的容器、管道及其阀门、附件的材质应符合工程设计文件要求。

    检查数量：各类设施全数检查。

    检验方法：观察检查。

12.4.6  容器的搬运、安装就位应符合下列规定：

    1  搬入洁净室(区)前应进行清洁，并应符合要求后从规定的搬入口运入；

    2  容器搬运应根据容器结构、规格尺寸及接管配置状况，进行固定，不得倒置；

    3  就位前，应检查基础平整度、高度，基础表面的水平度不应大于2％，标高偏差不应大于2mm；

    4  容器各接管中心与基础面上的基准线对准、测量，其允许偏差不应大于3mm；

    5  容器安装就位后的垂直度不应大于2‰。

    检查数量：各类容器全数检查。

    检验方法：观察检查、尺量。

12.4.7  化学品供应设施的低碳不锈钢管、PE管、PVDF管等的管道系统安装施工应符合本规范第7章的有关规定。

    检查数量：符合本规范第7章的有关规定。

    检验方法：观察检查、尺量。

12.4.8  管道吹扫或清洗应符合下列规定：

    1  应按各种化学品供应系统，分别在安装完成后分系统进行吹扫或清洗。

    2  吹扫或清洗宜采用干燥压缩空气或纯氮或清洁水，吹扫介质压力应为0.2MPa～0.3MPa，吹扫管道应设置过滤精度严于0.3μm的过滤器。

    3  吹扫清洗时，应关断所有接至各类容器的阀门；管道系统的过滤器滤芯，流量计应卸下，并应待吹扫后按原样恢复。

    4  各系统的吹扫应反复多次进行，吹扫时间不宜少于2.0h，并应以湿的白色滤纸或白布或涂有白色漆的靶板放在吹扫气排出口，经5min后检查微粒状况。不合格时，应继续吹扫，直至合格。

    检查数量：按系统分别全数检查。

    检验方法：观察检查、仪表检查。

12.4.9  管道系统的试验、试运转应符合下列规定：

    1  管道系统的试验应按工程设计文件要求进行强度试验、气密性试验，金属管道的试验方法可按现行国家标准《工业金属管道工程施工规范》GB 50235的有关规定执行。

    2  管道系统的试验、试运转，不宜包括各类容器、泵类等设备。

    3  承压管道应进行强度和严密性试验，强度试验的试验压力应为设计压力的1.5倍，严密性试验的试验压力应为设计压力的1.15倍。非承压管道应进行满水试验。 

    4  试验合格后，应以纯水或氮气进行清洗吹扫，并应直至末端无杂质、污染物为合格。