14.2 洁净厂房的测试

14.2.2  检测用仪器仪表均应进行标定，并应在标定有效期内。

14.2.3  洁净厂房测试应按验收阶段分段进行。竣工验收阶段的检测应确认各项设施符合工程设计和合同的要求；性能验收阶段的检测应确认各项设施均能有效、可靠地运行；使用验收阶段的检测应按产品生产工艺和“动态”活动要求，确认各项设施有效、可靠地运行。

14.2.4  洁净厂房性能测试项目应符合表14.2.4的要求。具体工程项目的性能测试清单、测试顺序等应按本规范附录B执行。

表14.2.4  洁净厂房性能测试项目

14.2.5  空气洁净度等级的检测应对粒径分布在0.1μm至5.0μm之间的悬浮粒子的粒径和浓度进行测试，空气洁净度等级应符合设计和建设方的要求。对于超微粒子、宏粒子的测试结果，应根据业主或设计要求确定。

    检查数量：全数检查。

    检验方法：按本规范附录C。

14.2.6  洁净厂房内应根据生产工艺要求进行浮游菌、沉降菌的检测。

    检查数量：全数检查。

    检验方法：按本规范附录C。

14.2.7  风量和风速的测试，对单向流洁净室的送风量应以测试的平均送风速度乘以送风截面积确定；非单向流洁净室的送风量可采用直接测试或测出风口风速乘以出风截面积确定。

    检查数量：按房间或区域，全数检查。

    检验方法：按本规范附录C。

14.2.8  压差测试，应为检验洁净室(区)与其周围环境之间的规定静压差，应在洁净室(区)的风速、风量和送风均匀性检测合格后进行静压差测试。

    检查数量：按房间或区域，全数检查。

    检验方法：按本规范附录C。

14.2.9  对已装空气过滤器应进行检漏；应在安装后的过滤器的上游侧引入测试气溶胶，并应及时在送风口和过滤器周边、外框与安装框架之间的密封处进行扫描检漏。检漏测试可在“空态”或“静态”进行。

    检查数量：全数检查。

    检验方法：按本规范附录C。

14.2.10  气流流型和气流方向，应在风量、风速和静压差等测试达到要求后进行检测。

    检查数量：单向流、混合流洁净室(区)抽检50％以上，非单向流洁净室(区)抽检30％以上。

    检验方法：按本规范附录C。

14.2.11  应在相关的净化空调系统连续、稳定运行后再进行洁净室(区)的温度、相对湿度检测，并应达到设计要求。

    检查数量：按房间或区域，全数检查。

    检验方法：按本规范附录C。

14.2.12  对于空气洁净度等级严于5级的洁净室(区)，应进行围护结构密闭性的测试。

    检查数量：全数检查。

    检验方法：按本规范附录C。

14.2.13  洁净室(区)内的噪声测试，应在“空态”或与建设单位协商的状态下进行检测，室内噪声应达到标准规定值。

    检查数量：按房间或区域，全数检查。

    检验方法：按本规范附录C。

14.2.14  洁净室(区)的照度测试，应在室内温度稳定和光源光稳定状态下进行，室内照度值应达到设计要求。

    检查数量：按房间或区域，全数检查。

    检验方法：按本规范附录C。

14.2.15  对于非单向流洁净室，应进行自净时间的检测。

    检查数量：按房间或区域，全数检查。

    检验方法：按本规范附录C。

14.2.16  当洁净厂房中设有需微振控制的精密设备仪器时，应对微振控制设施的建造质量进行检测，并应达到设计要求。

    检查数量：按房间或区域，全数检查。

    检验方法：按本规范附录C。

14.2.17  洁净室(区)的地面、墙面和工作台面的表面导静电性能，应根据生产工艺要求进行检测，并应达到标准规定或设计要求。

    检查数量：按房间或区域，全数检查。

    检验方法：按本规范附录C。

14.2.18  洁净厂房的每项测试均应编写测试报告，并应包括下列主要内容：

    1  测试单位的名称、地址，测试人和测试日期；

    2  所测设施名称及毗邻区域的名称和测试的位置、坐标；

    3  设施类型及相关参数；

    4  测试项目的性能参数、标准，包括占用状态等；

    5  所采用的测试方法、测试仪器及其相关的说明文件；

    6  测试结果，包括测试记录、分析意见；

    7  结论。