C.4 已装空气过滤器的检漏

C.4.2  高效空气过滤器安装后的检漏方法应采用光度计法和粒子计数器法。光度计法宜用于带小型空气处理系统的洁净室或安装有气溶胶注入点的管路系统，可达到规定的高浓度测试气溶胶；应采用粒子计数器法进行高效空气过滤器安装后的检漏。

C.4.3  采用光度计法进行扫描检漏时，被测试的过滤器的最高穿透粒径的穿透率应等于或大于0.005％。所采用的测试气溶胶不应影响洁净室(区)内的产品或工艺设施。

    在进行光度计法检漏前，被测试过滤器应在额定风速的80％～120％运行，并应确认其送风的均匀性。

    被测试过滤器的上风向引入的气溶胶的浓度应为10mg/m³～100mg/m³。浓度低于20mg/m³时，可降低检漏的灵敏度，而浓度高于80mg/m³时，长时间测试可造成过滤器的污堵。在过滤器检漏前应确认气溶胶的浓度和均匀性。

    检漏扫描时，若采用3cm×3cm方形探管，扫描速度不得超过5cm/s，矩形探管的最大面积扫描率不得超过15c㎡/s。在扫描过程中，显示有等于或大于限值的泄漏时，应将探管停留在泄漏处。高效空气过滤器的泄漏值应以不超过上风向测试气溶胶浓度的10-4为合格。

C.4.4  采用粒子计数器法进行扫描检漏时，被测试的空气过滤器最易穿透粒径的穿透率应大于或等于0.00005％。不应允许采用可能沉积在过滤器或管道上的挥发性油光尘的测试用气溶胶。

    在进行粒子计数器检漏前，被测试过滤器应在额定风速的70％～130％运行，并应确认其送风的均匀性。

    检漏扫描时，采样口距离被测部位应小于5.0cm，并应以0.05m/s的速度移动。空气高效过滤器下风侧测试得到的泄漏浓度换算的透过率，不得大于该过滤器出厂合格透过率的3倍。

C.4.5  安装在管道或空气处理机内的高效空气过滤器的检漏，检测可采用光度计法或粒子计数器法。安装在管道或空气处理机内的高效空气过滤器采用粒子计数器法检漏时，最易穿透粒径的穿透率应大于0.005％。

    检漏时，被检测过滤器应在设计风速的70％～130％之间进行，并应确认其送风均匀性。上风向引入的大气尘或气溶胶浓度应能满足在下风向测试得到具有统计意义的读数。

    测试时，采样口应距被测部位30cm～100cm，在管道中应距管壁2.5cm，并应记录实测的含尘浓度。

    高效空气过滤器检漏的限值，采用光度计法时，不得超过10-4(0.01％)；采用粒子计数器法时，不得大于出厂合格透过率的3倍。