C.8 密闭性测试

C.8.2  采用粒子计数器法时，测量被评价表面的洁净室(区)外部的空气中悬浮粒子浓度，应大于洁净室(区)内的浓度104的倍数，并应至少大于或等于3.5×106/m³；其空气中悬浮粒子浓度不符合要求时，应添加气溶胶提高浓度。

    粒子计数器扫描时，仪器应距离洁净室(区)内待测试的接缝密封处或啮合面5cm～10cm；扫描速度应为5cm/s。对敞开的门廊处的测试，应在距离洁净室(区)内敞开的门0.3m～3.0m处检测空气中悬浮粒子浓度。

C.8.3  采用光度计法，测量洁净室(区)内侧被评价表面的空气中悬浮粒子浓度，在光度计0.1％档的设定值时，光度计的读数超过0.01％即确认存在渗漏，并应做记录。