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13.1 一般规定
13.1.1 本章适用于与洁净厂房施工验收相关的生产工艺设备安装和验收，但不应包括生产工艺设备自身的施工安装和验收要求。
13.1.2 洁净厂房中生产工艺设备除大型设备外，宜在洁净室(区)空态验收合格后进行安装。
13.1.3 设备的搬运、安装过程不得有超范围的振动、倾斜，不得划伤及污染设备表面，设备搬入洁净室(区)前应清洁、无尘。
13.1.1 本条明确本章涉及生产设备安装的内容，只包括与洁净厂房施工验收相关的要求，不包括生产设备自身安装验收方面的规定，有关生产工艺设备的安装验收应执行相关的标准规范，如现行国家标准《微电子生产设备安装工程施工及验收规范》GB 50467。
13.1.2 由于在许多行业的洁净厂房中都不可避免地有大型或特殊结构的生产工艺设备，这类设备常常需在洁净室的围护结构施工前进行安装，所以本条规定洁净厂房中生产工艺设备除大型设备外，一般是在洁净室(区)空态验收合格后进行安装。
13.1.3 为了防止在生产工艺设备的搬运、安装过程中对已进行空态验收的洁净室(区)带来污染甚至损坏，作了本条的规定。
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- 附录B 测试项目的选择和实施顺序
- 附录C 测试方法
- C.1 空气洁净度等级测试
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- C.5 气流流型的检测
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- C.11 自净时间
- C.12 超微粒子的测试
- C.13 大粒子的测试
- C.14 微振测试
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- C.16 浮游菌、沉降菌的检测
- 附录D 工程质量验收记录用表
- 本规范用词说明
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